|
|
¡ã ÀÓ¼ºÀÏ ±³¼ö. |
Àç·á°úÇÐ ºÐ¾ß ¼¼°èÀû ±ÇÀ§Áö ‘¾îµå¹ê½ºµå ¸ÓƼ¸®¾óÁî’¿¡ °ÔÀç
[ÇѹçÀϺ¸] ¿¬¼¼´ëÇб³ ¹°¸®Çаú ÀÓ¼ºÀÏ ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀÌ ´ÜÀÏ 2Â÷¿ø ¹ÝµµÃ¼Á¶°¢ ±â¹ÝÀ¸·Î ¿øÀÚÃþ ÁõÂø¹æ¹ý(ALD)À» ÀÌ¿ëÇØ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ¼ö¼ÒµµÇÎ ¹æ¹ýÀ¸·Î Æ®·£Áö½ºÅÍ ¼ÒÀÚÀÇ Àüµµ¼ºÀ» ¼±ÅÃÀûÀ¸·Î ÀüȯÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù. À̷νá ÇâÈÄ 2Â÷¿ø ¹ÝµµÃ¼¼ÒÀÚ ½Ç¿ëÈ °¡´É¼ºÀ» Å©°Ô È®Àå½ÃÄ×´Ù.
°¡Àå ´ëÇ¥ÀûÀÎ 2Â÷¿ø ¹ÝµµÃ¼ ¹°ÁúÀÎ ÀüÀ̱ݼӵðÄ®ÄÚÁ¨ ÈÇÕ¹°(TMD) Áß ÇϳªÀÎ ¸ô¸®ºêµ§ Åڷ縣ȹ°(MoTe2)Àº 2010³â ³ëº§ ¹°¸®ÇлóÀ» ¼ö»óÇÑ ±×·¡ÇÉ°ú °°ÀÌ ¿øÀÚÃþ°£ °áÇÕÀÌ ¹Ýµ¥¸£¹ß½º °áÇÕÀ¸·Î µÇ¾î ÀÖ¾î ±â°èÀû ¹Ú¸®¿¡ ÀÇÇÑ 2Â÷¿ø ÇüÅÂÀÇ ±¸ÇöÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. ¹êµå°¸ÀÌ °ÅÀÇ ¾ø¾î ½ÇÁ¦ ¹ÝµµÃ¼¼ÒÀÚ·Î ÀÀ¿ëÀÇ ÇÑ°è°¡ ÀÖ´Â ±×·¡ÇÉ°ú ´Þ¸® ¸ô¸®ºêµ§ Åڷ縣ȹ°Àº ½Ç¸®ÄÜ°ú À¯»çÇÑ ¹êµå°¸ Å©±â¸¦ °¡Áö°í ÀÖ¾î ½Ç¸®ÄÜÀ» ´ëüÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹°Áú·Î ±¹³»¿Ü¿¡¼ ¸¹Àº ¿¬±¸°¡ ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Ù. ±×·¯³ª µ¿½Ã¿¡ NÇü, PÇüÀ» ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î ±¸ÇöÇÏÁö ¸øÇØ ½ÇÁ¦ »ê¾÷È¿¡ Àû¿ë½ÃÅ°±â¿¡´Â ÇÑ°è°¡ ÀÖ¾ú´Ù.
¿¬±¸ÁøÀº ¼ö ³ª³ë¹ÌÅÍ µÎ²²ÀÇ ¸ô¸®ºêµ§ Åڷ縣ȹ° ä³Î À§¿¡ ¿øÀÚÃþ ÁõÂø¹æ¹ýÀ» ÅëÇÑ ¼ö¼ÒµµÇÎ ÈÄ PÇü ¼ÒÀÚ°¡ NÇüÀ¸·Î Ư¼ºÀÌ ÀüȯµÇ´Â °ÍÀ» È®ÀÎÇß´Ù. ƯÈ÷ ÀüȯµÈ NÇü ¹ÝµµÃ¼´Â ¼ö¼ÒµµÇο¡ µû¶ó Àü·ùÀÇ Áõ°¡»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó Æ®·£Áö½ºÅÍ ¼ÒÀÚÀÇ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» º¸¿©ÁÜÀ» È®ÀÎÇß´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ¼ö¼ÒµµÇÎÀÇ ÀÚ¼¼ÇÑ ¸ÞÄ¿´ÏÁò, Áï ¼ö¼ÒµµÇÎÀÌ ¾î¶»°Ô NÇü ÀüÇÏ¿î¹ÝÀÚ¸¦ »ý¼ºÇÏ´ÂÁö´Â ¿¬¼¼´ëÇб³ ÃÖÇüÁØ ±³¼öÆÀÀÇ Á¤¹Ð °è»ê°úÇÐÀ» ÅëÇØ ±Ô¸íµÇ¾ú´Ù. ¿¬±¸ÁøÀº ÀÌ·¯ÇÑ °á°ú¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ¿øÇÏ´Â ºÎºÐ¿¡¸¸ ¼±ÅÃÀûÀÎ ¼ö¼ÒµµÇÎÀ» ½Ç½ÃÇÔÀ¸·Î½á ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ NÇü°ú PÇü Æ®·£Áö½ºÅÍ ¼ÒÀÚ¸¦ µ¿½Ã¿¡ ±¸ÇöÇßÀ¸¸ç, À̸¦ ÅëÇØ °¡Àå ±âº»ÀûÀÎ ³í¸®È¸·ÎÀÎ »óº¸Çü ±Ý¼Ó»êȹݵµÃ¼(CMOS)¸¦ Á¦ÀÛÇß´Ù. ¶ÇÇÑ DC Àü¾Ð°ú AC Àü¾Ð¿¡¼ ¸ðµÎ ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î ȸ·Î°¡ ÀÛµ¿ÇÏ´Â °ÍÀ» È®ÀÎÇß´Ù.
ÀÓ¼ºÀÏ ±³¼ö´Â “À̹ø¿¡ ¹ß°ßÇÑ ¼ö¼ÒµµÇÎÀº ±âÁ¸ ½Ç¸®ÄÜ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡¼ ÈçÈ÷ ¾²ÀÌ´Â ³ë±¤°úÁ¤°ú ¿øÀÚÃþ ÁõÂø¹æ¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇϱ⠶§¹®¿¡ ½ÇÁ¦ ÀÌÂ÷¿ø Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ½Ç¿ëÈ °úÁ¤¿¡¼ ±²ÀåÈ÷ ÀÇ¹Ì ÀÖ´Â ¿¬±¸°á°ú°¡ µÉ °Í”À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
ÇÑÆí, ÀÌ ¿¬±¸´Â ¹Ì·¡Ã¢Á¶°úÇкÎÀÇ Áß°ß¿¬±¸ÀÚ µµ¾à»ç¾÷ ¹× ¼±µµ¿¬±¸¼¾ÅÍ»ç¾÷ÀÇ Áö¿øÀ¸·Î ¼öÇàµÇ¾úÀ¸¸ç, ‘¾îµå¹ê½ºµå ¸ÓƼ¸®¾óÁî(Advanced Materials, Impact Factor = 18.96)’¿¡ ÃÖ±Ù ¿Â¶óÀÎ °ÔÀçµÇ¾ú´Ù. ¿¬¼¼´ëÇб³ ¹°¸®Çаú ÀÓ¼ºÀÏ ±³¼ö(±³½ÅÀúÀÚ)¿Í ÀÓÁØ¿µ ¹Ú»ç°úÁ¤ Çлý(Á¦1ÀúÀÚ)ÀÌ ¼ÒÀÚÁ¦ÀÛ ¹× Àü±âÀû Ư¼º µîÀ» ÃøÁ¤Çß°í, ÃÖÇüÁØ ±³¼ö(±³½ÅÀúÀÚ)°¡ ¸ô¸®ºêµ§ Åڷ縣ȹ°ÀÇ ¼ö¼Ò¿øÀÚ µµÇθÞÄ¿´ÏÁòÀ» °è»êÀ» ÅëÇØ ±Ô¸íÇß´Ù.
|